无尘室是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的)，否则将无法构成一完整且品质良好的无尘室：
(1)天花板系统：
其中包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
(2)空调系统：
包括空气舱、过滤器系统、风车等。
(3)隔墙板(Partitional wall)：
包括窗户、门。
(4)地板：
包括高架地板或防静电地板、以及环氧自流平及滚涂地面。
包括日光灯、黄色灯管等。
（6）无尘室之建筑主体构造
一般是用钢筋或骨水泥，但无论是何种构造，必须满足如下之条件：
A.不会因温度变化与振动而发生裂痕；
B.不易产生微尘粒子，且很难附着粒子；
C.吸湿性小；
D.为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高；
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