复合式的无尘室将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净的空气。
(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或者是工作区域100%覆盖使洁净度等级提高到10级以上，可以节省安装运转等费用。
复合式的型式需将作业人员的工作区与产品和机器维修给以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程多数采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点：
弹性扩充容易和维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量的送风即可得到良好的洁净度，又可节省能源，最适宜使用于自动化生产线。药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)并装局部无尘室(Clean Spot)：将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
洁净工作台：等级Class 1~100级。
洁净工作棚：为在乱流式之无尘室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10平米以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。
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